實驗室氣體的危險性

1.有部分氣體具有毒、強腐蝕等特性，其一旦泄漏，就可能會對工作人員及儀器設備造成傷害；

2.多種氣體在同一個環(huán)境下使用，如果有兩種會發(fā)生燃燒或爆1炸等強烈化學反應的氣體同時泄漏，就可能對工作人員以及儀器設備造成傷害；

3.多數(shù)氣瓶出口壓力1高可達15MPa，即150公斤/cm2，如果發(fā)生氣瓶口減壓裝置失靈，就有可能將一些部件激1射出去，其能量對人體或設備都具有致命性的傷害。

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實驗室供氣系統(tǒng)氣體管路

實驗室供氣管路系統(tǒng)工程主要是為試實驗室選用的分析設備提供量值和壓力穩(wěn)定的標準氣體，保證其儲存和使用的安全性。保障分析測試人員在實驗中免受有毒有害氣體的侵害。按照國標要求，將所用全部氣體存放于儲氣間，并實現(xiàn)集中輸送，組成中央供氣系統(tǒng)。電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏檢測規(guī)定1、氦檢漏儀表應采用質(zhì)譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。系統(tǒng)采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式輸氣方式，在一拖多時能夠實現(xiàn)分段控制和在多拖一和多拖多時能夠實現(xiàn)切換控制；并能夠保證標準氣體流量、壓力穩(wěn)定和量值傳遞不發(fā)生變化，滿足分析檢測設備對使用氣體的技術要求。

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特種氣體的應用

電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險性質(zhì)可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。具體要求如下：①可燃氣體比空氣輕者，報警裝置設置在所處場所的頂部。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20～30種。

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特種氣體使用安全

首先,應對特氣的危害性進行分析,通過本質(zhì)安全設計,消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門應選用隔膜或波紋管密封閥門。有部分氣體具有毒、強腐蝕等特性，其一旦泄漏，就可能會對工作人員及儀器設備造成傷害。管道系統(tǒng)應采用焊接系統(tǒng),機械接頭均應置于抽風罩內(nèi)。排放氣體應進行安全處理。氣體輸送設備具有緊急切斷功能。操作應遵循標準操作規(guī)程。

其次,采用監(jiān)測手段,預防事故發(fā)生。設置氣體泄漏偵測器,監(jiān)控氣體泄漏?？扇夹詺怏w應設置高溫或火焰?zhèn)蓽y器。危險氣體應設置過流開關。如需了解更多高純供氣系統(tǒng)的相關信息，歡迎關注艾明坷網(wǎng)站或撥打圖片上的電話詢。特氣系統(tǒng)氣柜應進行負壓監(jiān)測,防止抽風系統(tǒng)的失效。偵測系統(tǒng)應與報警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應進行遠程監(jiān)控。監(jiān)控系統(tǒng)應設置不間斷電源。